Преимущество метода МЛЭ состоит в высокой точности задания концентрации легирующих примесей. Кроме того, данный метод позволяет размещать в оборудовании для МЛЭ приборы, дающие возможность анализировать параметры слоев непосредственно в процессе выращивания.
Рис. 1. Схема установки МЛЭ: I - зона генерации молекулярных пучков; II -зона смешивания испаряемых элементов; III - зона кристаллизации на подложке; 1 - блок нагрева; 2 - подложка; 3 - заслонка отдельной ячейки; 4 - эффузионнные ячейки основных компонентов пленки; 5 - эффузионнные ячейки легирующих примесей.
Рис. 2. Однородные островки Ge/Si.
Характеристика абсорбционных методов очистки отходящих газов от примесей кислого характера
Грандиозные
масштабы производственной деятельности человека привели к большим позитивным
преобразованиям в мире – созданию мощного промышленного и сельскохозяйственного
потенциала, широкому ...
Расчетная часть
Разделяемая
смесь: бензол–толуол (ХF=0.40). Нагрузка колонны по сырью – 10 т/час. Содержание
низкокипящего компонента в дистилляте (ХD=0.97), в кубовом остатке (ХW=0.029). Контактный элемент –
таре ...