Преимущество метода МЛЭ состоит в высокой точности задания концентрации легирующих примесей. Кроме того, данный метод позволяет размещать в оборудовании для МЛЭ приборы, дающие возможность анализировать параметры слоев непосредственно в процессе выращивания.
Рис. 1. Схема установки МЛЭ: I - зона генерации молекулярных пучков; II -зона смешивания испаряемых элементов; III - зона кристаллизации на подложке; 1 - блок нагрева; 2 - подложка; 3 - заслонка отдельной ячейки; 4 - эффузионнные ячейки основных компонентов пленки; 5 - эффузионнные ячейки легирующих примесей.
Рис. 2. Однородные островки Ge/Si.
Углеграфитовые материалы
Все виды
углеграфитовых материалов производятся на основе углерода. Ассортимент изделий
весьма многочислен, а каждый вид характеризуется оригинальными свойствами.
Основную роль в
создани ...
Фтор
ФТОР (лат. Fluorum), F, химический элемент с атомным
номером 9, атомная масса 18,998403. Природный фтор состоит из одного
стабильного нуклида 19F. Конфигурация внешнего электронного слоя 2s2 ...
Физико-химические закономерности формирования тонкопленочных металлополимерных систем из газовой фазы
Тонкопленочные металлополимерные материалы
(металлизированные полимеры, металлические изделия с тонким полимерным покрытием,
многослойные системы и др.), формируемые методами вакуумной техно ...