Преимущество метода МЛЭ состоит в высокой точности задания концентрации легирующих примесей. Кроме того, данный метод позволяет размещать в оборудовании для МЛЭ приборы, дающие возможность анализировать параметры слоев непосредственно в процессе выращивания.
Рис. 1. Схема установки МЛЭ: I - зона генерации молекулярных пучков; II -зона смешивания испаряемых элементов; III - зона кристаллизации на подложке; 1 - блок нагрева; 2 - подложка; 3 - заслонка отдельной ячейки; 4 - эффузионнные ячейки основных компонентов пленки; 5 - эффузионнные ячейки легирующих примесей.
Рис. 2. Однородные островки Ge/Si.
Неорганические соли в пиротехнической промышленности
Пиротехника в современной индустрии и науке занимает особое место среди
остальных отраслей. Ей принадлежат ужасающие (на службе военной промышленности или
терактов) и захватывающие (в роли м ...
Получение хлора при электролизе хлорида алюминия
...
Химические методы очистки отходящих газов
Тема
реферата «Химические методы очистки отходящих газов» по дисциплине «Технология
очистки и утилизации газовых выбросов».
В
связи с повышением требований к экологической чистоте произв ...