Преимущество метода МЛЭ состоит в высокой точности задания концентрации легирующих примесей. Кроме того, данный метод позволяет размещать в оборудовании для МЛЭ приборы, дающие возможность анализировать параметры слоев непосредственно в процессе выращивания.
Рис. 1. Схема установки МЛЭ: I - зона генерации молекулярных пучков; II -зона смешивания испаряемых элементов; III - зона кристаллизации на подложке; 1 - блок нагрева; 2 - подложка; 3 - заслонка отдельной ячейки; 4 - эффузионнные ячейки основных компонентов пленки; 5 - эффузионнные ячейки легирующих примесей.
Рис. 2. Однородные островки Ge/Si.
Общие указания по выполнению
лабораторных работ.
Подготовка к
выполнению лабораторной работы заключается в изучении теоретической части
работы по рекомендованной литературе и по конспектам лекций. В описании
каждой лабораторной работы даны в ...
Енолят-анионы и енамины. Таутомерия. Альдольные реакции
...
История алхимии
Алхимия - позднелатинское, донаучное
направление в химии. Происхождение алхимии.
Название восходит
через арабское к греческому Chemeia от cheo лью, отливаю, что указывает на
связь алхи ...