Силильными эфирами фосфора называются производные кислот фосфора, у которых хотя бы один протон замещен на триорганилсилильную или подобную кремнийсодержащую группу. Большинство из них жидкости, лишь немногие существуют в виде кристаллов. Практически все из достаточно стабильны, что быть очищенными перегонкой при пониженном давлении. Для эфиров трехвалентного фосфора возможна таутомерия: атом кремния может быть подсоединен к фосфору как через кислород (трехкоординированный фосфор), так и напрямую (четырехкоординированный фосфор). Последняя таутомерная форма легче всего подвергается гидролизу, хотя все виды силильных эфиров фосфора необходимо хранить в безводной среде. Так как связь кремний-кислород существенно прочней связи кремний-фосфор, равновесие для большинства соединений сдвинуто в сторону таутомера со связью Si-O [1].

Силильные эфиры фосфора отличаются высокой реакционной способностью в реакциях как с нуклеофилами, так и с электрофилами. Центром для нуклеофильной атаки в большинстве реакций является кремний, для электрофильной – фосфор. Вероятно, присутствие кремния усиливает нуклеофильность фосфора, и, обратно, наличие фосфора усиливает электрофильность кремния. Как правило, в реакциях силильных эфиров фосфора тяжело выделить две отдельные стадии, но в случае с трехвалентным фосфором иногда удается это сделать: сначала происходит взаимодействие фосфора с электрофилом, которое приводит к образованию фосфониевой соли или цвиттер-иона. На следующей стадии интермедиат подвергается атаке нуклеофила по кремнию с образованием конечного продукта [1]: