Рис. 3. Схема сверхзвукового истечения частиц из сопла

Молекулярные пучки большой интенсивности, когда J~1016 – 1018 частиц/ (см2·с), и с более низкой температурой по сравнению с эффузионными источниками можно получать с помощью сверхзвукового истечения из сопла. Образующийся в источнике относительно плотный горячий пар вещества 1 (рис 3.) термостатируется в камере торможения 5, где с помощью нагревателя 2 поддерживаются давление Р0 и температура Т0, и выпускается через сопло 3 с диаметром d~1 мм в вакуум или буферный газ. В результате образуется расширяющийся пучок частиц с малым углом расхождения. Тепловая энергия потока горячего газа или пара в камере торможения трансформируется в кинетическую энергию сверхзвукового потока. Сформировавшийся поток движется в направлении от плоскости среза сопла к подложке 4 и расширяется, что приводит к его охлаждению. В результате охлаждения газ превращается в пересыщенный пар, внутри которого могут зарождаться кластеры, содержащие от 2-106 атомов [2].