Мышьяксодержащие руды подвергают окислительному обжигу и извлекают мышьяк в виде As2O3. Его возгоняют и получают продукт с чистотой более 98%. Практически все соединения мышьяка в промышленности производят исходя из As2O3. Металлический мышьяк также получают из As2O3 восстановлением его углеродсодержащими восстановителями (чаще всего древесным углем). Очищают его сублимацией мышьяка высокой чистоты для синтеза полупроводниковых соединений получают из предварительно очищенных AsH3 или AsCl3 химическим осаждением из газовой фазы. Арсин разлагают при 300 – 400 °С в токе Н2 или Аr. Хлорид восстанавливают Н2 высокой чистоты (который очищают диффузией через сплавы Pd). Наиболее чистый мышьяк получают, сочетая дистилляцию и кристаллизацию. Эти процессы проводят при 815 – 850 °С и давлении 4 – 6 МПа. Мышьяк для синтеза полупроводниковых соединений не должен содержать примеси (Si, S, О, Сu и др.) более 10-5 – 10-6 % по массе каждого вещества [1].