Очистка хлорсилана
Страница 3

Отсутствие объективного и быстрого метода оценки качества хлосиланов продолжает оставаться уязвимым местом в технологии полупроводникового кремния. Наряду с перечисленными выше методами предпринимались попытки разработать способ оценки чистоты хлорсилана по электрофизическим параметрам полученной из него эпитаксиальной структуры. Однако этот метод пока не получил широкого распространения из-за длительности и слабой воспроизводимости анализа.

Страницы: 1 2 3 

Смотрите также

Белки и нуклеиновые кислоты
...

Получение аллилового спирта гидролизом хлористого аллила
Непредельные спирты - это производные непредельных углеводородов, в молекулах которых водородный атом замещен на гидроксильную группу. Непредельные спирты сильно отличаются по свойствам от у ...

Формулы веществ-составление
Предлагаемое учебное пособие содержит материал необходимый для полноценного обучения основам общей химии. В книге приведены правила общей химии, которые подробно разобраны на конкретных при ...