Очистка хлорсилана
Страница 3

Отсутствие объективного и быстрого метода оценки качества хлосиланов продолжает оставаться уязвимым местом в технологии полупроводникового кремния. Наряду с перечисленными выше методами предпринимались попытки разработать способ оценки чистоты хлорсилана по электрофизическим параметрам полученной из него эпитаксиальной структуры. Однако этот метод пока не получил широкого распространения из-за длительности и слабой воспроизводимости анализа.

Страницы: 1 2 3 

Смотрите также

Способы восстановления оксидов азота
Основными источниками загрязнения атмосферного воздуха являются промышленные предприятия, транспорт, тепловые электростанции, животноводческие комплексы. Каждый из этих источников связан с в ...

Расчет ректификационной установки для разделения бинарной смеси этиловый спирт-вода
Задание на курсовую работу Рассчитать ректификационную установку по следующим данным: 1.                ...

Мутации структуры белковоподобного сополимера. Компьютерное моделирование
...