Результаты, положенные в основу диссертации, опубликованы в 11 статьях, 8 тезисах докладов на Российских и Международных конференциях и в двух авторских свидетельствах. Список основных публикаций приведен в конце автореферата.
Монокристаллический кремень
Основной объем
монокристаллического кремния (80-90%) потребляемого электронной
промышленностью, выращивается по методу Чохральского.
Фактически весь кремний,
используемый для производст ...