Использование кварцевого измерителя толщины позволяет независимо от ДБЭ измерять толщину напыляемой пленки. Физический принцип прибора основан на измерении изменения периода собственных колебаний кварцевой пластинки (резонатора).
Измерительный резонатор, помещенный в вакуумный объем напылительной установки, определяет период колебаний выносного генератора. Собственный период колебаний измерительного резонатора прямо зависит от толщины пленки, осаженной на него. Сравнивая период колебаний выносного генератора с эталонным, можно определить толщину выросшей пленки.
В данной работе использовался цифровой прибор УУП-1 предназначенный для контроля толщины и скорости роста пленок алюминия, поэтому частота внутреннего генератора подобрана так, чтобы изменение показаний прибора на единицу соответствовало толщине пленки алюминия в один ангстрем.
Градуировка прибора для измерения толщин пленок кремния и германия производилась при достаточно низких температурах эпитаксии в условиях двумерно-островкового роста, когда за один период осцилляции вырастает пленка монослойной толщины.
Исследование реологических свойств эпоксидных композиций
Выбор
компонентов разрабатываемых композиций с пониженной горючестью обусловлен
предъявлением ряда требований к полимерному составу: текучести, способности к
формированию карбонизованного о ...
Алкилирование фенола олефинами
...
Формулы веществ-составление
Предлагаемое учебное пособие
содержит материал необходимый для полноценного обучения основам общей химии. В
книге приведены правила общей химии, которые подробно разобраны на конкретных
при ...